能量散射X射线荧光光谱法（EDXRF）作为镀层厚度测量和材料分析的方法，可用来定量和定性分析样品的元素组成，也可用于镀层和镀层系统的厚度测量。无论是在实验室还是工业生产环境中，这一方法都能完美胜任，并还可以与现代化设备一起发挥作用。

原理
X射线荧光分析基于以下物理现象：样品材料中的原子由于受到初级X射线轰击，从而失去内层轨道中的某些电子。失去电子所留下的空穴会被外层电子来填补，在填补的过程中，会产生每个元素*的特征X射线荧光。接收器探测到该荧光射线后，便能提供样品的材料组成等信息。

应用
由于能量色散X射线荧光光谱法可以分析材料成分和测量薄镀层及镀层系统，因而应用广泛：
在电子和半导体产业里，测量触点上薄金，铂和镍层厚度或痕量分析。
在钟表和珠宝行业或采矿精炼工业中，精确分析贵金属合金组分。
在质量管控和来料检验中，需要确保产品或零部件*材料设计规范。如在太阳能光伏电池产业中，光伏薄膜的成分组成和厚度大小决定了光伏电池的效率。在电镀行业中，则需要测量大批量部件的厚度。
对于电子产品的生产者和采购者，检验产品是否符合《限制在电子电气产品中使用有害物质的指令》（RoHS指令）也是十分关键的。
在玩具工业中，也需要有可靠的有害物质检测手段。
对于以上测量应用，菲希尔的FISCHERSCOPE X-射线光谱仪都能完美胜任。