美国API激光干涉仪xd laser上海

Automated Precision Inc.（API）xd™激光干涉仪。它是一个多维激光测量系统。它同时测量线性、角度、直线度和滚动误差。它速度快，在大约80%的停机时间内进行准确测量。例如，一台1米体积机器的完整测量是在3到4小时内完成的，而不是3天。这样有助于提高生产效率。

这台机器是*无线的。以太网连接有1、3、5和6自由度配置。6维xd激光干涉仪可同时测量单个装置的所有轴误差。该系统还可以对速度、加速度、平行度、方正度和平面度进行评估。所有这些特性使xd激光器不同于其他激光器。

它还有许多其他功能，如集成控制盒到激光头，便于携带。实时气象站补偿。还有一个湿度传感器。它有一个紧凑的激光头和一个底板。您可以沿着快速校准夹具的功能设置一个单一的光学直角度。

XD Laser™激光干涉仪简介：

XD Laser™激光干涉仪体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上，XD Laser™激光干涉仪主要由稳频激光器，干涉镜和6D传感器组成，从激光发出的激光光束经过干涉后，被6D传感器内的分光镜分成三束，一束光经维角反射棱镜反射后返回干涉干涉仪与参考光束相干涉产生干涉条纹，经光学相位探测器识别后进行电子计数，记录准确长度位置，第二束光作直线度测量的参考光束，传感器与参考光束之间的相对位移由装载传感器内的横向光电二极管测得，第三束光用作装在6D传感器内的小型光电测角仪的参考光源，用来测量角度误差(俯仰角和偏摆角)。

为了保证激光光束的稳定性，测量仪在结构的设计以及激光器的选择方面都做了仔细周密的考虑，以使测量仪的横向和角度漂移量都降到小，从而保证测量仪的长期稳定性，测量仪配有自动气压，环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响。测量仪还配有站们设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到低。

XD Laser™激光干涉仪技术参数

5D/6D标准型：

1. 线性：0.5ppm .

2. 测量范围：40米(1D可选80米)

3. 线性分辨力：0.001um.

4. 偏摆角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值

5. 大范围：800角秒

6. 滚动角精度：1.0角秒

7. 直线度精度：(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值

8. 直线度大范围：500um

9. 垂直度精度：1角秒

10. 温度精度：0.2摄氏度

11.湿度精度：5%

12.压力精度：1mmHg

主要特点：

1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角

2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

3. 可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米

4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。

5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架

6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间