美国自动精密(API公司)激光干涉仪 XD-3D激光干涉仪有一个良好紧凑的激光头(内置控制器)。激光头在测量安装上非常方便,用户可以直接将它安装在机床上,灵活的安装方式给予用户很大的灵活性。该系统的主要部件有激光头(包括干涉镜组、激光控制部件和以太网通信模块、电源)、环境传感器(称为气象站)、反射镜(XD-3D配置).
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