6D激光干涉仪误差分析工作原理 美国api激光干涉仪,用于机床设备、测量仪器及精密部件的线性精度、角度及回转角精度的检测和验收。API公司XD系列激光干涉仪的各项参数(线性、直线度、角度)都是溯源到国家和标准上的。
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